반도체 리소그래피용 UV 램프

리소그래피 공정에서 램프를 교체하는 것은 단순한 램프 교체에 그치지 않습니다. 이는 칼리브레이션을 다시 설정하는 작업이며, 스펙트럼 출력이 허용 범위를 벗어날 경우에는 공정을 중단해야 할 수도 있습니다. 우리는 반도체 리소그래피용 UV 램프를 그냥 교체하기만 하고 끝...