Op de plek waar de lithografieapparatuur wordt gebruikt, is het vervangen van een lamp nooit zomaar een simpele actie. Het gaat om het opnieuw kalibreren van de apparatuur, het opnieuw berekenen van de benodigde dosis, en indien nodig het stoppen van het proces als de spectrale uitgangswaarden buiten de vereiste grenzen vallen. We leveren geen UV-lampen af en zeggen dan dat het klaar is. In plaats daarvan meten we eerst wat er al aanwezig is, en maken we een optimale instelling voor het gebruik van de lamp – inclusief de lamp zelf, de reflectoren, het vermogensprofiel en alle bijbehorende componenten.
Wat echt belangrijk is van technisch oogpunt bezien Bij semiconductorlithografie is de reactie van het fotopolymeer zeer precies en gevoelig. Onze UV-lampen voor deze toepassing zijn ontworpen met behulp van stabiele waterstofdampontladingen. Ze zorgen voor een reproduceerbaar spectraal patroon met sterke, consistente golflengten van 365 nm, 385 nm en 405 nm. De piekintensiteit wordt gemeten op het oppervlak van het substraat, niet op de plek waar de lichtbundel zich bevindt. Want alleen dit getal geeft een nauwkeurige indicatie van het effect van het licht op het materiaal. We passen de lengte van de lamp, de afstand tussen de elektrodes en de geometrie van de elektroden aan op de behoeften van de apparatuur, zodat het lichtprofiel overal consistent blijft. De stabiliteit van de uitgangssignaal wordt over tijd gemeten: de lampen behouden meestal een intensiteit van minder dan 5% na 5.000 uur gebruik, mits ze binnen de voorgeschreven vermogensgrenzen worden gebruikt.
Het belangrijkste is dat je geen ‘licht’ koopt, maar een apparaat dat een constante dosis licht kan leveren. We voeren diagnostische tests uit om de intensiteit, hotspots en het spectrale evenwicht in het belichtingsgebied te bepalen. Vervolgens passen we de lamp en de reflectoren aan zodat de gewenste energiedichtheid wordt behaald. Dit resulteert in minder herwerkingswerk, betere controle over de criteriaemeisen en een voorspelbare conversie van het fotoinitiator naar actief materiaal. Bovendien wordt er minder energie verbruikt per chip, omdat de dichroïsche laag op de reflectoren is aangepast aan het spectrum van de lamp. Hierdoor wordt overtollig infraroodlicht verminderd en wordt de efficiëntie van het omzetten van elektriciteit in UV-licht verbeterd.
Enkele praktische tips Deze lampen zijn gevoelig voor de aansturingsspanning, de temperatuur van het koelmiddel en de hoeveelheid ozon in de omgeving. Ze hebben een stabiele stroomopbrengst nodig, met een passende balast. Bovendien moeten ze worden geplaatst in schone, droge behuizingen met goede ventilatie. Er is ook tijd nodig om de lampen op temperatuur te brengen zodat ze optimaal functioneren. We controleren altijd of de connectoren, afmetingen en positie van de lampen goed passen bij uw apparatuur, voordat we iets specificeren.