http://uv-light-zone.com/de/tags/halbleiter/ Recent content in Halbleiter on UV Light Zone Hugo de Fri, 03 Jul 2026 10:08:00 +0800 http://uv-light-zone.com/de/posts/uv-lamp-for-semiconductor-litho/ Fri, 03 Jul 2026 10:08:00 +0800 http://uv-light-zone.com/de/posts/uv-lamp-for-semiconductor-litho/ <p><img src="http://uv-light-zone.com/images/922aaf5f9a907f1d60ed6f8e999563af.png" alt="UV Lampe für Halbleiterlithografie"></p> <p>Auf der Lithografieanlage ist das Austauschen einer Lampe niemals einfach nur ein Austausch der Lampe selbst. Es handelt sich dabei vielmehr um eine Kalibrierung, eine Neuberechnung der Dosis sowie möglicherweise auch um eine Anpassung der Prozessparameter, falls die spektrale Ausstrahlung außerhalb der vorgegebenen Grenzen liegt. Wir bringen keine UV-Lampe für die Halbleiterlithografie vorbei und behaupten dann, alles sei erledigt. Stattdessen messen wir zunächst die aktuellen Werte und erstellen anschließend eine optimierte Anordnung von Lampe, Reflektor und Leistungsprofil – also alle Komponenten, die für einen einheitlichen Strahlungsverlauf notwendig sind.</p>