מנורת UV לליתוגרפיה של חומרים חצי מוליכים

בתהליך הליתוגרפיה, החלפת הנורה אינה פעולה פשוטה של החלפת נורה בלבד. זו גם פעולה של כיול מחדש, חישוב מחודש של המידע הנדרש, ובמקרים מסוימים – גם עצירה...