半導体リソグラフィ用紫外線ランプ

リソグラフィーの現場では、ランプの交換というのは単なるランプの交換に過ぎません。実際には、キャリブレーションの再設定や、出力値の再計算が必要です。また、スペクトル出力が規格を外れた場合には、工程を停止しなければなりません。半導体リソグラフィー用のUVランプを交換したからといって、それで終わりではあ...