用于半导体光刻的紫外线灯

在光刻工序中，更换光源并不仅仅是简单地更换一个灯泡而已。实际上，这涉及到对整个系统的校准，包括重新计算光照强度，如果光谱输出超出标准范围，还可能需要停止生产流程。我们不会仅仅把紫外线灯换掉就认为任务完成了。我们会进入现场，测量现有的光源参数，然后调整整个系统——包括光源、反射器以及功率参数等，以确...